Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если их размеры становятся порядка нанометров, то существенными являются квантовые эффекты, принципиально еняющие физику работы. Созданием таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе занимается нанотехнология. В книге изложены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно – силовых микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы требующие решения.
